支柱ホルダー式

XLSR-100BC

ロングステージ

XLSR-100BC

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XLSR-150BC

ロングステージ

XLSR-150BC

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TSC-70BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-70BC

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TSC-90BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-90BC

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TSC-120BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-120BC

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TSC-150BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-150BC

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支柱ホルダー式 仕様表
型式 ステージ面

(mm)
移動量

(mm)
ハンドル

一回転 移動量

(mm)
移動精度(μm) 耐荷重N

(kgf)
目盛最小読取

(mm)
自重

(kg)
真直度 運動時平行度
XLSR-100BC 25×42 ±40 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.22
XLSR-150BC 25×42 ±65 18 40 40 14.7(1.5) 0.1 0.25
TSC-70BC※1 25×40 ±17 2 / 5 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.20
TSC-90BC※1 25×40 ±27 2 / 5 / 10 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.22
TSC-120BC※1 25×40 ±42 2 / 5 / 10 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.24
TSC-150BC※1 25×40 ±57 5 / 10 40 40 14.7(1.5) 0.1 0.26

通常版:材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

※1 ハンドル一回転の移動量の選択により、型式の末尾が-2 -5 -10 となります。

  各種特別仕様の場合、それぞれ末尾にRH・HL・RV・WB が追加されます。 (例)XTSC-90-5RH  ZTSC-150-10HL など

支柱締め付けブロック式

PS-1BC(一軸)

支柱取付式ステージ

PS-1BC(一軸)

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PS-2BC(二軸)

支柱取付式ステージ

PS-2BC(二軸)

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PS-3BC(三軸)

支柱取付式ステージ

PS-3BC(三軸)

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支柱締め付けブロック式 仕様表
型式 ステージ面

(mm)
移動量

(mm)
ハンドル一回転 移動量

(mm)
移動精度(μm) 耐荷重N

(kgf)
目盛最小読取

(mm)
自重

(kg)
真直度 運動時平行度
PS-1BC 30 × 50 ± 17 Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.15
PS-2BC 30 × 50 ± 17 Y軸 4.2・Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.26
PS-3BC 30 × 50 ± 17 Y軸 4.2・X軸・Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.40

※材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

支柱式

XLSR-100SF

ロングステージ

XLSR-100SF

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XLSR-150SF

ロングステージ

XLSR-150SF

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-70SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-70SF

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-90SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-90SF

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-120SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-120SF

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-150SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-150SF

  • PDFデータ
  • DXFデータ
PS-1SF(一軸)

支柱取付式ステージ

PS-1SF(一軸)

  • PDFデータ
  • DXFデータ
PS-2SF(二軸)

支柱取付式ステージ

PS-2SF(二軸)

  • PDFデータ
  • DXFデータ
PS-3SF(三軸)

支柱取付式ステージ

PS-3SF(三軸)

  • PDFデータ
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支柱式 仕様表
型式 ステージ面

(mm)
移動量

(mm)
ハンドル一回転

移動量(mm)
移動精度(μm) 耐荷重N

(kgf)
目盛最小

読取(mm)
自重

(kg)
真直度 運動時平行度
XLSR-100SF 25×42 ±40 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.25
XLSR-150SF 25×42 ±65 18 40 40 14.7(1.5) 0.1 0.28
TSC-70SF※1 25×40 ±17 2 / 5 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.23
TSC-90SF※1 25×40 ±27 2 / 5 / 10 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.25
TSC-120SF※1 25×40 ±42 2 / 5 / 10 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.27
TSC-150SF※1 25×40 ±57 5 / 10 40 40 14.7(1.5) 0.1 0.29
PS-1SF 30 × 50 ± 17 Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.26
PS-2SF 30 × 50 ± 17 Y軸 4.2・Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.37
PS-3SF 30 × 50 ± 17 Y軸 4.2・X軸・Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.51

通常版:材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

※1 ハンドル一回転の移動量の選択により、型式の末尾が-2 -5 -10 となります。

  各種特別仕様の場合、それぞれ末尾にRH・HL・RV・WB が追加されます。 (例)XTSC-90-5RH  ZTSC-150-10HL など

支柱屈折機構式(180°屈折)

XLSR-100AR

ロングステージ

XLSR-100AR

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XLSR-150AR

ロングステージ

XLSR-150AR

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  • DXFデータ
TSC-70AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-70AR

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-90AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-90AR

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-120AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-120AR

  • PDFデータ
  • DXFデータ
TSC-150AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-150AR

  • PDFデータ
  • DXFデータ
PS-1AR(一軸)

支柱取付式ステージ

PS-1AR(一軸)

  • PDFデータ
  • DXFデータ
PS-2AR(二軸)

支柱取付式ステージ

PS-2AR(二軸)

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PS-3AR(三軸)

支柱取付式ステージ

PS-3AR(三軸)

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支柱屈折機構式(180°屈折) 仕様表
型式 ステージ面

(mm)
移動量

(mm)
ハンドル一回転 移動量

(mm)
移動精度(μm) 耐荷重N

(kgf)
目盛最小読取

(mm)
自重

(kg)
真直度 運動時平行度
XLSR-100AR 25×42 ±40 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.41
XLSR-150AR 25×42 ±65 18 40 40 14.7(1.5) 0.1 0.44
TSC-70AR※1 25×40 ±17 2 / 5 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.39
TSC-90AR※1 25×40 ±27 2 / 5 / 10 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.41
TSC-120AR※1 25×40 ±42 2 / 5 / 10 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.43
TSC-150AR※1 25×40 ±57 5 / 10 40 40 14.7(1.5) 0.1 0.45
PS-1AR 30 × 50 ± 17 Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.42
PS-2AR 30 × 50 ± 17 Y軸 4.2・Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.53
PS-3AR 30 × 50 ± 17 Y軸 4.2・X軸・Z軸 18 30 30 14.7(1.5) 0.1 0.67

通常版:材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

※1 ハンドル一回転の移動量の選択により、型式の末尾が-2 -5 -10 となります。

  各種特別仕様の場合、それぞれ末尾にRH・HL・RV・WB が追加されます。 (例)XTSC-90-5RH  ZTSC-150-10HL など