支柱ホルダー式

XLSR-100BC

ロングステージ

XLSR-100BC

XLSR-150BC

ロングステージ

XLSR-150BC

TSC-70BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-70BC

TSC-90BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-90BC

TSC-120BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-120BC

TSC-150BC

多機能送りねじ式ステージ

TSC-150BC

支柱ホルダー式 仕様表
型式ステージ面
(mm)
移動量
(mm)
ハンドル
一回転 移動量
(mm)
移動精度(μm)耐荷重N
(kgf)
目盛最小読取
(mm)
自重
(kg)
真直度運動時平行度
XLSR-100BC25×42±4018303014.7(1.5)0.10.22
XLSR-150BC25×42±6518404014.7(1.5)0.10.25
TSC-70BC※125×40±172 / 5303014.7(1.5)0.10.20
TSC-90BC※125×40±272 / 5 / 10303014.7(1.5)0.10.22
TSC-120BC※125×40±422 / 5 / 10303014.7(1.5)0.10.24
TSC-150BC※125×40±575 / 10404014.7(1.5)0.10.26

通常版:材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

※1 ハンドル一回転の移動量の選択により、型式の末尾が-2 -5 -10 となります。
  各種特別仕様の場合、それぞれ末尾にRH・HL・RV・WB が追加されます。 (例)XTSC-90-5RH  ZTSC-150-10HL など

支柱締め付けブロック式

PS-1BC(一軸)

支柱取付式ステージ

PS-1BC(一軸)

PS-2BC(二軸)

支柱取付式ステージ

PS-2BC(二軸)

PS-3BC(三軸)

支柱取付式ステージ

PS-3BC(三軸)

支柱締め付けブロック式 仕様表
型式ステージ面
(mm)
移動量
(mm)
ハンドル一回転 移動量
(mm)
移動精度(μm)耐荷重N
(kgf)
目盛最小読取
(mm)
自重
(kg)
真直度運動時平行度
PS-1BC30 × 50± 17Z軸 18303014.7(1.5)0.10.15
PS-2BC30 × 50± 17Y軸 4.2・Z軸 18303014.7(1.5)0.10.26
PS-3BC30 × 50± 17Y軸 4.2・X軸・Z軸 18303014.7(1.5)0.10.40

※材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

支柱式

XLSR-100SF

ロングステージ

XLSR-100SF

XLSR-150SF

ロングステージ

XLSR-150SF

TSC-70SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-70SF

TSC-90SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-90SF

TSC-120SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-120SF

TSC-150SF

多機能送りねじ式ステージ

TSC-150SF

PS-1SF(一軸)

支柱取付式ステージ

PS-1SF(一軸)

PS-2SF(二軸)

支柱取付式ステージ

PS-2SF(二軸)

PS-3SF(三軸)

支柱取付式ステージ

PS-3SF(三軸)

支柱式 仕様表
型式ステージ面
(mm)
移動量
(mm)
ハンドル一回転
移動量(mm)
移動精度(μm)耐荷重N
(kgf)
目盛最小
読取(mm)
自重
(kg)
真直度運動時平行度
XLSR-100SF25×42±4018303014.7(1.5)0.10.25
XLSR-150SF25×42±6518404014.7(1.5)0.10.28
TSC-70SF※125×40±172 / 5303014.7(1.5)0.10.23
TSC-90SF※125×40±272 / 5 / 10303014.7(1.5)0.10.25
TSC-120SF※125×40±422 / 5 / 10303014.7(1.5)0.10.27
TSC-150SF※125×40±575 / 10404014.7(1.5)0.10.29
PS-1SF30 × 50± 17Z軸 18303014.7(1.5)0.10.26
PS-2SF30 × 50± 17Y軸 4.2・Z軸 18303014.7(1.5)0.10.37
PS-3SF30 × 50± 17Y軸 4.2・X軸・Z軸 18303014.7(1.5)0.10.51

通常版:材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

※1 ハンドル一回転の移動量の選択により、型式の末尾が-2 -5 -10 となります。
  各種特別仕様の場合、それぞれ末尾にRH・HL・RV・WB が追加されます。 (例)XTSC-90-5RH  ZTSC-150-10HL など

支柱屈折機構式(180°屈折)

XLSR-100AR

ロングステージ

XLSR-100AR

XLSR-150AR

ロングステージ

XLSR-150AR

TSC-70AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-70AR

TSC-90AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-90AR

TSC-120AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-120AR

TSC-150AR

多機能送りねじ式ステージ

TSC-150AR

PS-1AR(一軸)

支柱取付式ステージ

PS-1AR(一軸)

PS-2AR(二軸)

支柱取付式ステージ

PS-2AR(二軸)

PS-3AR(三軸)

支柱取付式ステージ

PS-3AR(三軸)

支柱屈折機構式(180°屈折) 仕様表
型式ステージ面
(mm)
移動量
(mm)
ハンドル一回転 移動量
(mm)
移動精度(μm)耐荷重N
(kgf)
目盛最小読取
(mm)
自重
(kg)
真直度運動時平行度
XLSR-100AR25×42±4018303014.7(1.5)0.10.41
XLSR-150AR25×42±6518404014.7(1.5)0.10.44
TSC-70AR※125×40±172 / 5303014.7(1.5)0.10.39
TSC-90AR※125×40±272 / 5 / 10303014.7(1.5)0.10.41
TSC-120AR※125×40±422 / 5 / 10303014.7(1.5)0.10.43
TSC-150AR※125×40±575 / 10404014.7(1.5)0.10.45
PS-1AR30 × 50± 17Z軸 18303014.7(1.5)0.10.42
PS-2AR30 × 50± 17Y軸 4.2・Z軸 18303014.7(1.5)0.10.53
PS-3AR30 × 50± 17Y軸 4.2・X軸・Z軸 18303014.7(1.5)0.10.67

通常版:材質 ステージ本体…アルミ合金製  表面処理…梨地黒アルマイト

※1 ハンドル一回転の移動量の選択により、型式の末尾が-2 -5 -10 となります。
  各種特別仕様の場合、それぞれ末尾にRH・HL・RV・WB が追加されます。 (例)XTSC-90-5RH  ZTSC-150-10HL など