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薄型XYステージをセミオーダーし、ボンドテスターを改良

2012年12月05日

半導体メーカーにおけるボンドテスター(接合強度試験機)の装置改善事例です。

課題 :ワークを移動させるテーブルが大きく、操作性がよくありません。

ワイヤボンディングの接合強度試験を行っています。ワークを固定し移動させるテーブルが大きく、ワーク周辺にもテレセントリックレンズなどの関連機器があり、操作性がよくありません。

解決! 薄型XYステージをセミオーダーし、テーブルを大幅に省スペース化!

セミオーダーした薄型のX軸ステージ、Y軸ステージを2台重ねて使用し、薄型XYステージとして組み合わせてボンドテスター上に設置。XY軸方向にスムーズに稼働する薄型ステージを組み込んだ、使い易い接合強度試験治具を構成しました。

薄型ステージの採用で、以前のテーブルと比較して大幅に省スペース化できたため、ワークの設置などの作業がしやすくなりました。さらに、X軸・Y軸それぞれのステージを操作するハンドルにロングタイプを採用することで、狭い場所に手を入れずに位置調整が可能になり、より操作性が向上しました。
ハンドルの反対側にあるストッパーで位置決めすれば、試験中にワークが移動する心配もありません。

セミオーダーステージ(XSO-120)の特徴

  • ラック&ピニオン式の薄型ステージです。従来ステージより 16%薄い、21mmを実現しました。
  • ハンドル・ストッパー・目盛板・ベース等、多種多彩なオプションで、最適なオリジナルステージが作れます。
  • ステージ面 40mm x 120mm
  • 移動量 ±52mm
  • 自重 0.28 kg
  • ステージ本体:アルミ合金製(スケルトンステージ除く、XYステージ 他 全ステージ共通)
  • 表面処理 : 梨地黒アルマイト
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