Standard thin type

X-axis

Rack and pinion type stage body

SO-1 (Size 50)

SO-1 (Size 50)

SO-2(Size 80)

SO-2(Size 80)

SO-3(Size 120)

SO-3(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-4(Size 50)

SO-4(Size 50)

SO-5(Size 80)

SO-5(Size 80)

XY-axis

Rack and pinion type stage body

SO-6(Size 50)

SO-6(Size 50)

SO-7(Size 80)

SO-7(Size 80)

SO-8(Size 120)

SO-8(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-9(Size 50)

SO-9(Size 50)

SO-10(Size 80)

SO-10(Size 80)

Z-axis (bracket)

Rack and pinion type stage body

SO-11(Size 50)

SO-11(Size 50)

SO-12(Size 80)

SO-12(Size 80)

SO-13(Size 120)

SO-13(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-14(Size 50)

SO-14(Size 50)

SO-15(Size 80)

SO-15(Size 80)

Base attached type

X-axis

Rack and pinion type stage body

SO-16(Size 50)

SO-16(Size 50)

SO-17(Size 80)

SO-17(Size 80)

SO-18(Size 120)

SO-18(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-19(Size 50)

SO-19(Size 50)

SO-20(Size 80)

SO-20(Size 80)

XY-axis

Rack and pinion type stage body

SO-21(Size 50)

SO-21(Size 50)

SO-22(Size 80)

SO-22(Size 80)

SO-23(Size 120)

SO-23(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-24(Size 50)

SO-24(Size 50)

SO-25(Size 80)

SO-25(Size 80)

Magnetic base type

X-axis

Rack and pinion type stage body

SO-26(Size 80)

SO-26(Size 80)

SO-27(Size 120)

SO-27(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-28(Size 80)

SO-28(Size 80)

XY-axis

Rack and pinion type stage body

SO-29(Size 80)

SO-29(Size 80)

SO-30(Size 120)

SO-30(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-31(Size 80)

SO-31(Size 80)

Anti-vibration base type

X-axis

Rack and pinion type stage body

SO-32(Size 50)

SO-32(Size 50)

SO-33(Size 80)

SO-33(Size 80)

SO-34(Size 120)

SO-34(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-35(Size 50)

SO-35(Size 50)

SO-36(Size 80)

SO-36(Size 80)

XY-axis

Rack and pinion type stage body

SO-37(Size 50)

SO-37(Size 50)

SO-38(Size 80)

SO-38(Size 80)

SO-39(Size 120)

SO-39(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-40(Size 50)

SO-40(Size 50)

SO-41(Size 80)

SO-41(Size 80)

Z-axis (bracket)

Rack and pinion type stage body

SO-42(Size 50)

SO-42(Size 50)

SO-43(Size 80)

SO-43(Size 80)

SO-44(Size 120)

SO-44(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-45(Size 50)

SO-45(Size 50)

SO-46(Size 80)

SO-46(Size 80)

Handle secured type

X-axis

Rack and pinion type stage body

SO-47(Size 50)

SO-47(Size 50)

SO-48(Size 80)

SO-48(Size 80)

SO-49(Size 120)

SO-49(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-50(Size 50)

SO-50(Size 50)

SO-51(Size 80)

SO-51(Size 80)

XY-axis

Rack and pinion type stage body

SO-52(Size 50)

SO-52(Size 50)

SO-53(Size 80)

SO-53(Size 80)

SO-54(Size 120)

SO-54(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-55(Size 50)

SO-55(Size 50)

SO-56(Size 80)

SO-56(Size 80)

Z-axis (bracket)

Rack and pinion type stage body

SO-57(Size 50)

SO-57(Size 50)

SO-58(Size 80)

SO-58(Size 80)

SO-59(Size 120)

SO-59(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-60(Size 50)

SO-60(Size 50)

SO-61(Size 80)

SO-61(Size 80)

Handle extension type

X-axis

Rack and pinion type stage body

SO-62(Size 50)

SO-62(Size 50)

SO-63(Size 80)

SO-63(Size 80)

SO-64(Size 120)

SO-64(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-65(Size 50)

SO-65(Size 50)

SO-66(Size 80)

SO-66(Size 80)

XY-axis

Rack and pinion type stage body

SO-67(Size 50)

SO-67(Size 50)

SO-68(Size 80)

SO-68(Size 80)

SO-69(Size 120)

SO-69(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-70(Size 50)

SO-70(Size 50)

SO-71(Size 80)

SO-71(Size 80)

Z-axis (bracket)

Rack and pinion type stage body

SO-72(Size 50)

SO-72(Size 50)

SO-73(Size 80)

SO-73(Size 80)

SO-74(Size 120)

SO-74(Size 120)

Feed screw type, Stage body

SO-75(Size 50)

SO-75(Size 50)

SO-76(Size 80)

SO-76(Size 80)